蘇州華林科納半導(dǎo)體清洗機(jī)
    該設(shè)備是用于半導(dǎo)體芯片清洗的專用設(shè)備，配進(jìn)口氮?dú)鈽尅娏芩畼專蛇x配清洗槽、噴淋清洗、三級(jí)清洗、恒溫腐蝕槽等模塊。該設(shè)備采用進(jìn)口NPP防腐型結(jié)構(gòu)，是半導(dǎo)體設(shè)備清洗工藝的理想設(shè)備。可提供2-8寸晶片的清洗、腐蝕、顯影成套設(shè)備,設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)可按用戶要求定做。
   
   
    蘇州華林科納硅片腐蝕清洗機(jī)
    腐蝕機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)硅片周邊進(jìn)行濕法化學(xué)腐蝕形成均勻一致的斜角，本設(shè)備技術(shù)先進(jìn)，適用于規(guī)模生產(chǎn)。本設(shè)備是由電氣控制、機(jī)架、箱體、槽體、管路、等部分組成。槽體是由去離子水洗槽、有機(jī)溶劑槽、酸槽、堿槽構(gòu)成。硅片腐蝕機(jī)管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出，特采用進(jìn)口氣動(dòng)閥、PFA、PVDF、管道，全氟循環(huán)系統(tǒng)。除裝片和取片外，其余工藝均可自動(dòng)完成。電控部分：人機(jī)界面為觸摸屏，方便美觀。
   
   
    蘇州華林科納半導(dǎo)體硅（芯）片清洗機(jī)
    該設(shè)備主要用于清除硅（芯）片表面的廢屑、金屬離子等物質(zhì)，是硅（芯）片生產(chǎn)過程中重要工序。設(shè)備主要技術(shù)特點(diǎn)：1.可靠的控制系統(tǒng)；2.觸摸屏控制顯示 ；3.可設(shè)置和存儲(chǔ)工藝菜單；4.高壓去離子水泵5.噴頭H軸Y軸調(diào)節(jié)6.在線電阻率檢測(cè)水質(zhì)；7.清洗后高純氮?dú)飧稍锬K；8.自動(dòng)排水裝置；9.對(duì)硅片定位框架的安全定位。設(shè)備的主要技術(shù)指標(biāo)可按用戶要求定做。
   
   
    蘇州華林科納全自動(dòng)硅片清洗機(jī)
    產(chǎn)品概述： 進(jìn)口伺服驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及機(jī)械手臂，清洗過程中無需人工操作。 通過PLC實(shí)現(xiàn)控制，全部操作由觸摸屏界面完成。 可預(yù)先設(shè)制多條清洗工藝，可同時(shí)運(yùn)行多條工藝。 自動(dòng)化程度高，適用于批量生產(chǎn)，確保清洗質(zhì)量的一致性。 自動(dòng)氮?dú)夤呐菅b置可有效提高產(chǎn)品質(zhì)量，縮短清洗時(shí)間。可選裝層流凈化系統(tǒng)及自動(dòng)配酸裝置。