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株洲金瑞中高頻設備有限公司

真空燒結爐,高溫石墨化爐,碳管爐,碳化爐

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株洲金瑞CVD爐

產品價格68000.00元/臺

產品品牌金瑞來

最小起訂≥1 臺

供貨總量100 臺

發貨期限自買家付款之日起 3 天內發貨

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更新日期2020-03-07 10:00

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商品信息

基本參數

品牌:

金瑞來

所在地:

湖南 株洲市

起訂:

≥1 臺

供貨總量:

100 臺

有效期至:

長期有效
詳細說明

化學氣相沉積爐應用領域
化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學氣相沉積爐產品規格
產品型號/規格W×H×L(mm)
600*600*1000
800*800*1200
1000*1000*1500
1200*1200*2500
1500*1500*3000
2500*2000*3600
裝載重量(KG)
350
800
1500
2500
5000
10000
最高溫度(℃)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
溫度均勻性(℃)
±7.5
±7.5
±7.5
±10
±10
±15
加熱功率(kw)
250
360
480
600
900
1200
極限真空度(Pa)
20
20
20
20
20
20
壓升率(Pa/h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。
化學氣相沉積爐主要配置
u 爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
u 爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
u 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
u 加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
u 工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
u 真空泵和真空計---進口/國產
u PLC:歐姆龍/西門子
u 控溫儀表:日本島電/英國歐陸
u 熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
u 記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
u 人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機
u 電器元件:正泰/施耐德/西門子
u 料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學氣相沉積爐技術特征
n 本化學氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;
n 本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
n 本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
n 本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
n 本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

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