常規意義上的等離子體態是中性氣體中產生了相當數量的電離。當氣體溫度升高到其粒子的熱運動動能與氣體的電離能可以比擬時，粒子之間通過碰撞就可以產生大量的電離過程。

并非只有完全電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質。當體系中“電性”比“中性”更重要時，這一體系可稱為等離子體。

等離子技術產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對各種工業有機廢氣及國家《惡臭污染排放標準》中規定的八大惡臭物質均能有效去除。相比其它廢氣處理方法，等離子體技術具備能耗低、使用便利、無二次污染等特點，是目前廢氣污染治理中富有前景、行之有效的技術方法。

傳統治理VOC及異味氣體的方法（如吸收法、熱氧化法、膜分離法、生物反應法和光催化法等）由于對于低濃度氣體治理效率不高，各國利用不同的冷等離子體發生裝置治理廢氣，通過比較不同放電形式的等離子體對廢氣的去除效率，發現介質阻擋放電等離子體的去除率，這也成為近幾年研究

大流量低溫等離子廢氣治理裝置為意義上的等離子體廢氣治理技術。所要治理的廢氣通過等離子體區，使之離子化，形成電離狀態，在高能電子和粒子的轟擊下，加之等離子體態中豐富的氧化活性基團，在較短的時間類分解反應成為二氧化碳、水或是小分子化合物。而非單純的依靠臭氧來氧化反應。