催化燃燒過程是在催化燃燒裝置中進行的。有機廢氣先通過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表面而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下迅速氧化，產生二氧化碳和水。。
催化燃燒原理
借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H20，同時放出大量熱。
1）起燃溫度低，反應速率快，節省能源。催化燃燒過程中，催化劑起到降低 VOCs分子與氧分子反應的活化能，改變反應途徑的作用。
2）處理效率高，二次污染物和溫室氣體排放量少。采用催化燃燒處理VOCs廢氣凈化率通常在95%以上，終產物主要為CO2和H20。由于催化燃燒溫度低，大量減少NOx的生成。輔助燃料消耗排放的CO2量在總CO2排放量中占很大比例，輔助能源消耗量減少，顯然減少了溫室氣體CO2排放量。
3）適用范圍廣，催化燃燒幾乎可以處理所有的烴類有機廢氣及惡臭氣體，適合處理的VOCs濃度范圍廣。對于低濃度、大流量、多組分而無回收價值的VOCs廢氣，采用催化燃燒法處理是經濟合理的。
吸附脫附+冷凝回收系統
油氣沿主油氣管道，經由防爆風泵（后置）送入油氣處理裝置的吸收單元，風泵和裝在油氣主管上的壓力傳感器連鎖，根據發油量的大小自動變頻運行。
油氣在吸收單元中實現油氣中硫化物的初步去除，分離出的油氣直接進入冷凝單元進行多級冷凝：先經預冷器被冷卻至5℃，冷凝出部分油和水，然后進入冷凝箱被冷卻至-25℃、左右，再析出一部分油，至此絕大部分烴類組分被分離出來，分離出油后的低溫貧油氣體再依次回到前級回熱器進行回熱交換，溫度回升到20℃左右進入后級吸附系統。