含有機物的廢氣經風機的作用，氣流通過活性炭吸附層，有機物質被活性炭特有的吸附力截留在其內部，潔凈氣體排出；經過一段時間后，活性炭達到飽和狀態時，停止吸附，此時有機物已被濃縮在活性炭內。

催化凈化裝置內設加熱室，啟動加熱裝置，進入內部循環，當熱氣源達到有機物的沸點時，濃縮的有機物從活性炭內揮發出來，進入催化室在貴金屬催化劑作用下進行無焰催化燃燒分解成CO2和H2O，同時釋放出能量。

利用釋放出的能量再進入吸附床脫附時，此時加熱裝置完全停止工作，有機廢氣在催化燃燒室內維持自燃，尾氣再生，循環進行，直至有機物完全從活性炭內部分離，至催化室分解。活性炭得到了再生，有機物得到催化分解處理。

催化燃燒設備組成單元：

①廢氣預處理裝置：為了避免催化劑床層的堵塞和催化劑中毒，廢氣在進入床層之前必須進行預處理，以除去廢氣中的粉塵、液滴及催化劑的毒物。

②預熱裝置：包括廢氣預熱裝置和催化劑燃燒器預熱裝置。因為催化劑都有一個催化活性溫度，對催化燃燒來說稱催化劑起燃溫度，必須使廢氣和床層的溫度達到起燃溫度才能進行催化燃燒。

③催化燃燒裝置：一般采用固定床催化反應器。反應器的設計按規范進行，應便于操作，維修方便，便于裝卸催化劑。

④催化燃燒設備四大系統配置：在有機物廢氣的催化燃燒中，所要處理的有機物廢氣在高溫下與空氣混合易引起爆炸，安全問題十分重要。必須控制有機物與空氣的混合比使之在爆炸下限。設備配有阻火除塵系統、防爆泄壓系統、超溫報警系統及先進自控系統。

活性炭循環：活性炭使用一段時間，相應的濃度，吸附將或失去吸附能力，這個時候是活性炭解吸周期，周期后的活性炭恢復吸附功能，活性炭可以繼續使用。催化燃燒預熱室、空氣預熱，預熱后的氣體吸附箱、活性炭吸附有機物的排放，VOC通過風機催化燃燒室燃燒，分解成二氧化碳和水蒸汽熱空氣，熱空氣后繼續加熱活性炭，另一部分熱空氣排空，熱空氣循環里面很多次，活性炭可以循環使用。