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澤攸臺階儀在半導體行業中的應用

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澤攸臺階儀是一款高性能的表面形貌檢測設備,其核心工作原理是利用一個尖銳的探針在樣品表面進行掃描,然后根據探針在垂直(Z)方向上的位移變化,配合精確的橫向掃描與位置控制,最終重建出樣品表面的三維形狀。


澤攸臺階儀具有高精度、高分辨率、高穩定性和高靈活性等特點。其采用了大行程超精密平面掃描技術,能夠實現70mm的掃描范圍,優于20nm/2mm的精度。同時,配備了兩個彩色攝像頭,能夠無畸變地觀察樣品區和針尖區,實時顯示掃描過程。此外,澤攸臺階儀還采用了一體花崗巖結構,提供了穩定可靠的重復性測量,并采用了大帶寬大行程納米微動臺和超微壓力恒定控制技術,能夠實現80um的位移范圍,10kHZ的響應頻率,0.5mN-15mN的壓力控制。


澤攸臺階儀在半導體行業有著廣泛的應用,可以用于制程優化與控制、薄膜材料表征與質量控制等方面。通過精確測量臺階高度、線粗糙度、薄膜曲率半徑等參數,能夠迅速響應工藝條件的變化,幫助制造商優化制程,提高產品的穩定性和一致性。同時,澤攸臺階儀還可以用于測量氧化層、抗蝕劑等材料的臺階高度,從而評估材料的性能和選擇合適的材料。


總的來說,澤攸臺階儀是一款先進的表面形貌檢測設備,具有高精度、高分辨率、高穩定性和高靈活性等特點,在半導體行業等領域具有廣泛的應用前景。


更多產品信息來源:http://www.bjygtech.cn/Products-38287114.html

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