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    無塵車間是不論外在之空氣條件如何變化,其車間內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力
等性能之特性。無塵車間最主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度以及溫濕度,使產品能在一個良好之
環境空間生產、制造。 
無塵車間中的溫濕度控制
  無塵車間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空
氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但
作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產
的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。
無塵車間中的氣壓規定
對于大部分無塵車間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差
的維持一般應符合以下原則:
1.無塵車間的壓力要高于非無塵車間的壓力。
2.潔凈度級別高的車間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的車間的壓力。
3.相通無塵車間之間的門要開向潔凈度級別高的車間。

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