隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環境及生活質量提出了越來越高要求，用水純化設備制備的高純水

已受到人們普遍歡迎，潔凈工程技術已開始進入千家萬戶，進入人們的現代生活。

   潔凈工程又稱為生產環境和污染控制工程，是近二、三十年來隨著高新技術發展起來的一門綜合性的新興科

學技術。對于半導體設備來講，潔凈工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成

電路，而集成電路的生產對其工藝環境和工藝流程中的潔凈工程和設備提出了嚴格的要求。在大規模集成電路

制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產品更新換代周期越來越快的發

展趨勢不相適應，嚴重制約了大規模集成電路技術的發展。

  但隨著我國高新技術的迅速發展和微電子工業、光纖工業、液晶顯示工業及光電器件工業、生物工程、醫藥

工業的發展，我國潛在的巨大的潔凈工程技術產品市場，以每年40％~50％的增長速度在增加。





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