1、利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射工業廢氣，裂解惡臭/工業廢氣如：NH3、C3H9N、H2S、CH4S、C2H6S2、CS2和C8H8、硫化物H2S、VOC類、C6H6、C7H8、C8H10等的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

2、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(游離氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。

3、惡臭/工業廢氣利用排風設備引入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

4、利用高能UV光束裂解工業廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及消滅細菌的目的。