催化燃燒主要利用催化劑將需要處理的廢氣當中的可以燃燒的物質，在一種較低溫的情況下進行氧化以及分解的一種方法。在整個催化凈化過程中，催化劑扮演的角色是用來降低化學反應的活化能，從而使反應條件更有利于可以控制的目的。借助催化劑的作用可以有效地使廢氣在較低的溫度條件下進行起燃，從而發生無焰燃燒，然后凈其氧化分解為無害的二氧化碳和水，并釋放出大量的熱能，這樣就可以達到去除廢氣當中的有害物質的，凈化廢氣。

利用活性炭吸附原理，先讓活性炭吸附有機廢氣，讓吸附完廢氣的活性炭通過高溫氣流再將其進行脫附。這樣就可以使活性炭反復地循環進行吸附和脫附，脫附下來的廢氣會進行濃縮處理，然后進入到催化燃燒室進行分解并釋。經過催化燃燒處理之后的廢氣一部分符合標準排放到大氣當中，另一部分回到吸附床上供活性炭脫附使用，這樣可以更好的提供吸附脫附催化的熱量，而且節能環保高效。

有機廢氣溫度比較高而且有機物的含量也比較高，在通常情況下只需要在催化燃燒設備的燃燒室中，用電加熱器供起起燃，然后再由交換器進行回收部分凈化過的氣體所產生的熱量。這種的好處是在正常操作下就可以維持住熱平衡，不需要額外補充熱量。